GC-KM202單晶開磨一體機(jī)
該產(chǎn)品用于硅片制造工序的開方、倒角、磨面、拋光環(huán)節(jié)，硅棒一次裝夾，在工位流轉(zhuǎn)中通過高精密轉(zhuǎn)臺(tái)精確定位，完成所有加工環(huán)節(jié)，可實(shí)現(xiàn)單邊0.2mm的開方邊距尺寸，最大限度的降低加工過程中的硅料損耗；節(jié)省開方機(jī)到磨拋一體機(jī)的中轉(zhuǎn)環(huán)節(jié)，減少自動(dòng)化投資及占地面積。
產(chǎn)品參數(shù)
開方余量 |
最小單邊0.2mm |
加工效率 |
29min（830mm長M10圓弧棒） |
尺寸公差 |
±0.04mm |
四平面粗糙度 |
Ra≤0.1μm |
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