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GC-SEWS824 半導(dǎo)體單線截?cái)鄼C(jī)

該產(chǎn)品是一款針對半導(dǎo)體單晶硅棒截?cái)嗟膶S眉庸ぴO(shè)備,可加工硅棒直徑兼容8-24寸,最大加工長度2600mm。該設(shè)備采用金剛線切割,可實(shí)現(xiàn)截?cái)?、去頭尾、切樣片等功能,具有切割效率高、斷面質(zhì)量好等特點(diǎn)。


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產(chǎn)品參數(shù)

機(jī)械部分

設(shè)備尺寸

約5000mm×2560mm×2740mm (長x寬x高)

設(shè)備重量

約5500kg

硅棒規(guī)格

硅棒長度

300~2000mm(不含頭尾,從頭到尾切割不換向)

硅棒直徑

Φ200~Φ600mm

一次切割數(shù)量

1根/塊

切割段長

150mm~400mm(300mm以下需手動(dòng)操作切割)

切割刀口數(shù)

1刀口/刀

取樣片厚度

2~15mm

切割部分

進(jìn)給驅(qū)動(dòng)

伺服電機(jī)、絲杠升降

切割頭移動(dòng)速度

0~900mm/min,無級(jí)可調(diào)

切割進(jìn)給速度

0~20mm/min(實(shí)際切割工藝根據(jù)硅棒直徑設(shè)定)

切割絲直徑

Φ0.42mm

切割時(shí)間

平均≤90分鐘完成一刀18寸硅棒切割(根據(jù)切割質(zhì)量時(shí)間會(huì)有調(diào)整)

切割張力

切割絲張力

0~120N

總線入電電源

380V±10%AC,50Hz±1Hz。

設(shè)備系統(tǒng)

電力負(fù)荷

14KVA


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