GC-SEWS824 半導(dǎo)體單線截?cái)鄼C(jī)
該產(chǎn)品是一款針對半導(dǎo)體單晶硅棒截?cái)嗟膶S眉庸ぴO(shè)備,可加工硅棒直徑兼容8-24寸,最大加工長度2600mm。該設(shè)備采用金剛線切割,可實(shí)現(xiàn)截?cái)?、去頭尾、切樣片等功能,具有切割效率高、斷面質(zhì)量好等特點(diǎn)。
產(chǎn)品參數(shù)
機(jī)械部分 |
設(shè)備尺寸 |
約5000mm×2560mm×2740mm (長x寬x高) |
設(shè)備重量 |
約5500kg |
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硅棒規(guī)格 |
硅棒長度 |
300~2000mm(不含頭尾,從頭到尾切割不換向) |
硅棒直徑 |
Φ200~Φ600mm |
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一次切割數(shù)量 |
1根/塊 |
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切割段長 |
150mm~400mm(300mm以下需手動(dòng)操作切割) |
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切割刀口數(shù) |
1刀口/刀 |
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取樣片厚度 |
2~15mm |
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切割部分 |
進(jìn)給驅(qū)動(dòng) |
伺服電機(jī)、絲杠升降 |
切割頭移動(dòng)速度 |
0~900mm/min,無級(jí)可調(diào) |
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切割進(jìn)給速度 |
0~20mm/min(實(shí)際切割工藝根據(jù)硅棒直徑設(shè)定) |
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切割絲直徑 |
Φ0.42mm |
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切割時(shí)間 |
平均≤90分鐘完成一刀18寸硅棒切割(根據(jù)切割質(zhì)量時(shí)間會(huì)有調(diào)整) |
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切割張力 |
切割絲張力 |
0~120N |
總線入電電源 |
380V±10%AC,50Hz±1Hz。 |
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設(shè)備系統(tǒng) |
電力負(fù)荷 |
14KVA |
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